據半導體產業網,于2025年09月18日報道,9月26-28日,“2025新一代半導體晶體材料技術及應用大會”將于云南昆明舉辦。屆時,北方華創微電子化合物外延部門負責人楊牧龍將出席會議,并帶來《化合物半導體外延設備及工藝解決方案》的主題報告,敬請關注!
嘉賓簡介
楊牧龍,北方華創微電子化合物產品負責人,主要負責化合物半導體CVD外延設備的產品研發。北方華創開發的多款硅外延、碳化硅外延、III-V族化合物MOCVD外延等產品均獲得市場認可,部分已成為行業內主流首選。北方華創作為中國高端半導體裝備的先行者,立足于產業鏈上游,憑借精良品質和卓越服務,堅持以客戶需求為導向的持續創新,助推國內半導體產業的健康發展,帶給產業無限可能。
報告前瞻
報告題目:化合物半導體外延設備及工藝解決方案
報告摘要:報告通過介紹以GaAs、InP、GaN、SiC等材料為代表的化合物半導體產業的主要工藝流程,提出CVD外延設備是化合物半導體器件所需要使用的核心關鍵設備。本報告通過權威機構的調研數據,展示了化合物半導體外延設備的國產化現狀、主要技術難點和常用技術路線。以關鍵技術難點作為切入,提出了外延設備開發所需要具備的技術基礎。最后,本報告介紹了北方華創在化合物半導體外延設備領域所做出的工作和成績,包括GaAs/InP MOCVD、Micro-LED ROY MOCVD等化合物半導體解決方案。