據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)，于2024年10月17日報道，天眼查顯示，西安和其光電科技股份有限公司近日取得一項名為“用于光纖傳感器封裝的高精密多維調(diào)節(jié)對位系統(tǒng)及方法”的專利，授權(quán)公告號為CN113776689B，授權(quán)公告日為2024年9月24日，申請日為2021年8月31日。
本發(fā)明提供一種用于光纖傳感器封裝的高精密多維調(diào)節(jié)對位系統(tǒng)及方法，解決現(xiàn)有半導(dǎo)體晶片與光纖耦合，存在晶片易劃傷、鍍膜面易翻轉(zhuǎn)、表面易附著臟污、夾取后較難放下，對位調(diào)節(jié)耗時長的問題。系統(tǒng)包括光學(xué)平臺、晶片吸附料盒、光纖夾持組件、顯示單元、光譜監(jiān)測單元、設(shè)在光學(xué)平臺上的第一調(diào)節(jié)基座和第二調(diào)節(jié)基座、設(shè)在第一調(diào)節(jié)基座上的第一相機組件、設(shè)在第二調(diào)節(jié)基座上的第二相機組件；晶片吸附料盒設(shè)在光學(xué)平臺上；光纖夾持組件通過三維調(diào)節(jié)架設(shè)在光學(xué)平臺上；晶片吸附料盒上表面所在平面為XY平面；顯示單元包括分別與第一、第二相機組件相連的X?Z顯示界面和Y?Z顯示界面；光譜監(jiān)測單元包括信號耦合監(jiān)測模塊和與信號耦合監(jiān)測模塊相連的上位機。
